天津中環(huán) RTP-滑動式快速退火爐

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采用紅外燈管加熱，通過滑動爐體實(shí)現(xiàn)快速升降溫。應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、碳纖維、石墨烯生長等新型材料工藝領(lǐng)域。

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品應(yīng)用：

該系列電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動爐體實(shí)現(xiàn)快速升降溫。應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、碳纖維、石墨烯生長等新型材料工藝領(lǐng)域。

也同樣適用于要求升降溫速度比較快的氣氛燒結(jié)、真空淬火退火及CVD等工藝實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司獨(dú)有的知識產(chǎn)權(quán)專利設(shè)計(jì),提高操作便捷性；爐體自帶超溫保護(hù)及漏電保護(hù)功能；

合理的氣路支架裝置，避免了氣路總成因自身應(yīng)力而造成的爐管損壞；爐體移動自動化且有滑動限位功能，避免爐體碰撞;風(fēng)冷設(shè)計(jì)，使樣品實(shí)現(xiàn)快速降溫。

產(chǎn)品名稱	RTP系列-滑動式快速退火爐
產(chǎn)品型號	RTP-G06123K-H
額定功率	9KW
額定電壓	220AC 50/60Hz
溫度	1000℃
連續(xù)工作	950℃(<1 小時)
加熱區(qū)長度	250mm
恒溫區(qū)長度	200mm
加熱元件	紅外燈管
溫度控制	國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編程50段程序控溫；
控制精度	±1℃
石英管尺寸	Φ60/Φ80/Φ100mm
爐管材質(zhì)	石英管
滑動距離	300mm
降溫速度	900~200℃的降溫速度:15min
升溫速度	50oC/S
滑動控制	由溫度控制器自動控制爐體移動. 當(dāng)程序完成，爐體按設(shè)定的速度滑動。
流量計(jì)	浮子流量計(jì)60-600ml/min
滑軌尺寸	360 x1300x265mm
外形尺寸	360x385x595mm
重量	85Kg
標(biāo)準(zhǔn)配置	氣路總成一套（含真空壓力表）石英管一支、石英堵三個、鉤子一把、高溫手套一副。

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